落地式彩色共軛焦
特點
- 大範圍表面形貌輪廓尺寸分析,臺階高度、寬度量測
- 可以快速量測後生成3D圖,3D圖可自由調整觀看角度與比例
- 軟體有即時影像視窗,且具備自動對焦功能,可快速觀察樣本表面與設定量測範圍
- 可以客製化編輯、儲存和讀取量測流程檔,大幅減少人力操作成本
- 軟體可以自動分析數值後,將量測總表自自動統整與輸出,以利批量產品分析比對介紹
即时影像
・待測物表面觀察
・自動對焦
・巡航拖曳移動
參數設定
・設備平台移動控制
・掃描參數設定
・設備訊息回饋
・報表顯示
自動化量測
・客製化編程,有效增加量測效率,降低操作員編程時間
・可儲存/讀取量測任務,提高生產過程中的量測效率
・自動分析數值
| 編號 | 項目 | 規格數值 |
|---|---|---|
| 1 | 儀器型號 | CSG-A3535CO |
| 2 | 外型尺寸(mm) | 1200×900×1620 |
| 3 | 儀器重量(kg) | 450 |
| 4 | 工作臺尺寸(mm) | 520×400 |
| 5 | 工作臺運動行程(mm) | 350×350 |
| 6 | Z軸行程(mm) | 150 |
| 7 | XY軸光學尺解析度(µm) | 0.5 |
| 8 | Z軸光學尺解析度(µm) | 0.1 |
| 9 | 線長(mm) | 4.78±0.02 |
| 10 | 工作距離(mm) | 39±0.2 |
| 11 | 橫向解析度(µm) | 25 |
| 12 | 光斑直徑(µm) | 10 |
| 13 | 量測角度(degree) | ±20 |
| 14 | 量測範圍(mm) | 3.9 |
| 15 | 軸向解析度(nm) | 320 |
| 16 | 準確度(µm) | 1.2 |
※實際規格以出貨為準※
產品規格參數
| 編號 | 內容項目 | 規格參數 |
|---|---|---|
| 1 | 主機尺寸 | 420(W)×160(H)×480(D)mm |
| 2 | 工作氣體 | 壓縮空氣CDA 或氮氣N2 |