PCB用水平等離子處理機
| 編號 | 內容 | 規格參數 |
|---|---|---|
| 1 | 機台整機規格 | 2000(W)×1500(D)×1960(H) mm |
| 2 | 真空室規格 | 1030(W)×1100 (D)×1070(H) mm |
| 3 | 電極板規格 | 17層平板式電極板 (944W×790 D mm (28W ×24D in)) |
| 4 | 控制系統 | PC工控系統+PLC自動控制 |
| 5 | 真空測定系統 | 皮拉尼電阻式真空計 |
| 6 | 氣體計量系統 | 精確質量流量控制計MFC |
| 7 | 氣體路數 | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
| 8 | 等離子發生器 | 10KW等離子體發生源 (40KHz，可選13.56MHz) |
| 9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |